第503章 nmEBL光刻机研发成功(2/4)
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他的目光停留在机*上,眼里充满了期待。
每隔几天,郝强就过来看看项目进展,确保一切都在计划轨道上。
郝强站在一个屏幕前,看了眼设备运行。
电子束在硅片表面快速而精准地雕刻着微小的电路图案,每秒曝光可以达到60万次以上,画完一个芯片的速度非常快,一片硅片仅需要几十秒钟而已。
但是,一块芯片需要画许多层。
针对青龙8124,14nm EbL光刻机最大产能为:150wph(wafers per hour,即每小时可处理的晶圆数量。)
而7nm EbL光刻机最大产能为:100wph(wafers per hour,即每小时可处理的晶圆数量。)
随着机*启动的低沉嗡嗡声响起,实验室里的工作人员开始紧张地调整设备,进入各项测试环节。
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