第461章 领导们非常激动（求为爱发电）（2/4）

光刻工序堪称整个制程的灵魂，对环境的稳定*和避震要求极其苛刻。

为确保最佳*能，光刻机被安置在一楼。

这栋楼的二楼也是芯片生产车间，一楼与二楼的生产线用传送带连接。

三楼是库房，四楼则是办公区域和实验区域。

一层楼建造面积高达2万平方米，算上二楼，可以布置4条芯片生产线，每条生产线包括5台EbL光刻机。

一台EbL光刻机占地面积只有10平方米而已，但配套设备和自动化生产线就占空间，还要考虑设备间隔、洁净室面积、工艺流程布局、通道、安全区域等，构成了一个庞大而精密的制造生态系统。

这套布局与苔积电等世界顶级半导体制造商的厂区设计有些类似，每条生产线的平均占地面积也相差不大。

按照公司一期月产10万片晶圆，还需要一栋这样的大楼才能满足10条生产线布

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