第一百六十七章 芯片产业协会（2/4）

国外的公司曾经非常傲慢的宣称，即便把光刻机所有零件都给你们，你们也无法完成光刻机的组装！

精度问题的第一道难关就是光学系统。

光刻机的曝光光学系统，由数十块锅底大的镜片串联组成，其光学零件精度控制在几个纳米以内，陈涵相信它的微观干涉能力，应该可以解决这个难题。

第二道难关是光刻机的激光光源，光刻用准分子激光*光源需要窄线宽、大能量和高脉冲频率，这些参数互相矛盾，研制难度极大。

而且拆开光刻机，零件都会损坏，国内的仿制基本都是从拆仪*开始的，光刻机价格上亿也不是不可以拆，只不过现在拆了内部就被破坏。

纳米层面一点点改变，后续研究就无法进行下去了。

目前能够攻克这个系统的只有脚盆国的一家科技公司，而其他公司都被艾斯麦尔公司收购了。

激光光源再复杂，

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